▪ 安装本供料单元，需考虑维修需要的空间。
▪ 本供料单元为精密设备，请勿将上部压力及连接管道的应力等附加力传递给主机。
▪ 对本供料单元，应考虑为抽气室作单独的支架。
▪ 请考虑热膨胀对本单元的影响，使之降到最低，推荐使用弹性节。
▪ 清洗及气封装置应设置必要的减压装置和气量调节装置，确保气体的品质符合要求。
无负载运转
检查配管负载，检查有无杂物进入机体内
1、供料单元安装并配管完毕后，确认已断开了电源。
2、卸下安全罩和链条。
3、用手转动旋转阀，确认顺畅回转。
无载运转
1、确认配管已全部连接完毕。
2、确认齿轮传动马达已将润滑油补充至制造厂家使用说明书知识的水平。
3、确认安全罩已经装好。
4、确认回转方向。
5、确认以上各项不存在问题后，进行十五分钟无载运转。
6、如果在无载运转中没有振动和杂音，则无载运转结束。